表示 1 個對偶數,且包括迴轉對與滑動對。 表示 2 個對偶數。 11 概 述 1 三、機構學中的符號,如表 1 - 1 所示。 *表 1 - 1 機構學的符號介紹 圖示 說明 樞軸(pivot),表示彼此活動機件的接合點。 表示固定軸,固定旋轉中心。 表示一根連桿。 表示固定桿或固定面。 K F H K F 表示導路與滑件。 表示F、K、H三機件連接在一個樞軸上,ASAHI軸承三者可圍繞兩個共同樞軸旋 轉。 F 為一個連桿,桿上作一樞軸,使 K 能圍繞此一連桿旋轉。 表示多根連桿結為一個剛體,彼此間無相對運動。 12 ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) 車床尾座於床軌之運動是屬於 滑動對 迴轉對 螺旋對 球面對。 凸輪傳動屬於哪一種對偶? 滑動對 迴轉對 高對 低對。 如圖 1 - 10 所示之連桿組為何種運動鏈? 固定鏈 拘束運動 鏈 無拘束運動鏈 呆鏈。 ▲圖 1 - 10 機構學常用的符號,「 」表示 樞軸 機件上一點 固定 軸 接合點。 下列符號,何者錯誤? 為固定面 為多根連桿結為一剛體 為 3 根連桿,2 個對偶 為導路與滑件。 13
以二維自由度微動定位系 統為例,兩套雷射干涉儀再加上微定位機構,其成本至少超過壹百伍拾萬台幣。以如此 高價位之投資成本,必定無法應用於相關產業之精密定位系統上。 因此,本計畫將從 DVD 雷射探頭製作著手,再將此自行研製之雷射探頭裝置於微奈 教專研 097P-035 微奈米精密定位平台之即時監控系統之控制 97-349 機械工程系-童景賢 米精密定位平台上,IKO滑軌並以數位訊號處理器(DSP)作系統之控制,以達到低成本即時監控之 目標。 貳、文獻探討 本計劃之主題『微奈米精密定位平台之即時監控系統之控制』之架構包括兩大部分: 微動定位平台與 DVD 雷射探頭;在此將國內外相關研究之情況與重要參考文獻作一評 述。 一 、 微動定位平台方面 微動定位平台的種類很多,其結構及驅動方式亦有所不同,以下將針對各種不同微 動平台之相關文獻作一研究。 Kanai 等(1991)[1]利用液壓(hydraulic)致動器,配合平面軸承導引(plain bearing guideways)在 200KG 之荷重下,達成 1nm 的定位解析度。
如圖 6 - 33 所示,又稱為虎克接頭(Hooke's joints)或十字接頭(cross joints),是球面四連桿組之應用。常用於兩軸中心線不平行,且相交 於一點,兩軸心的角度可任意變更之情況下使用,而且極富吸振性與耐 久性;當原動軸以等角速度旋轉,從動軸則以變角速度旋轉,兩軸之轉 速比介於 cos ~ 之間,兩軸心之夾角愈大,轉速比變化愈大,所傳 達的效率也就愈差,且在轉動時會產生扭力及噪音等缺失,因此兩軸心 之夾角一般在 5°以下比較理想,最高不宜超過 30°。如果欲使原動軸與 從動軸之轉速相等,可在兩傳動軸之間另加一中間軸或稱副軸,NACHI軸承使其偏 125 6 軸 承 及 連 接 裝 置 位角度相等即可,亦即成對使用,常用於汽車之傳動軸上,如圖 6 - 34 (a)、(b)所示。引擎輸出的動力,由位置較高的變速箱,經萬向接 頭傳遞到位置較低的後輪軸。 ▲圖 6 - 33 萬向接頭 副軸 (a)萬向接頭之安裝 傳動軸 滑動接頭 變速箱 萬向接頭 後軸總成 (b)
其餘皆與方鍵及平鍵相同。 軸 轂 帶頭斜鍵 斜度 1:100 b h b 1:100 (a) (b) (c) ▲圖 4 - 4 斜鍵 68 半圓鍵(woodruff key) 如圖 4 - 5 (a)、(b)所示,又稱為半月鍵或伍德氏鍵,裝置時其圓 弧面置於鍵座中,寬度約為軸直徑之 1 4 ,大都用於精密度較差的機件連 結,優點是可自動調整中心,常用於汽車及工具機之傳動軸,裝配時 2 3 精密定位台高度埋於鍵座, 1 3 高度嵌於鍵槽,其規格表示為:種類,鍵寬(W) 鍵之直徑(D),例如半圓鍵 4 19。 (a) (b) 半圓鍵 半圓鍵座 D W ▲圖 4 - 5 半圓鍵 鞍形鍵(saddle key) 斜度 1:100 (a) (b) ▲圖 4 - 6 鞍形鍵 如圖 4 - 6(a)、(b)所示, 為一種無鍵座之鍵,上面製成 1:100 的斜度,底面則和軸徑 一樣加工成圓弧,是依靠摩 擦力來傳送動力,故僅適合 小負荷。 滑鍵(slide key) 如圖4-7(a)、(b)、(c)所示,又稱活鍵(feather key),利用埋頭 螺釘使鍵固定於軸上,可使套裝在軸上的機件做軸向滑動,但不能轉動。 69 鍵 與 銷 4 拔取用螺孔 (a) (b) (c)
利用一鍵與半徑 30mm 之軸連結。 鍵長 20mm,橫斷面則為每邊 5mm之正方形。若鍵能承受之許可剪應力 為 50MPa,則作用於桿端之力最大為若干 N? 30 500 P 單位:mm ▲圖(1) 一直徑 80mm 的軸,承受 720N - m 之扭轉力矩作用,軸上有 10cm 長之 鍵槽,如鍵的允許剪應力為 15MPa,壓應力為 20MPa,試設計鍵寬和高 度? 彈簧 學習目標 精密定位台能了解彈簧的功用。 能了解彈簧的種類。 能熟練彈簧的材料。 86 ( ) ( ) 5-1 彈簧的功用 彈簧(spring)是利用彈性材料製造成特種形狀之機件。受到外力時,能 產生伸長或縮短或其他不同方式的變形,以吸收外力而儲存於本體內,等到外力 除去後,就將原來吸收儲存於本體內的能量放出,恢復原來的形狀,此即彈簧 所具有的特性,如一般不用電池之玩具,常用彈簧來儲存能量當成動力來源。 彈簧的功用一般有四種: 吸收振動緩和衝擊:例如汽車或火車之底盤彈簧、飛機著陸輪上的彈簧、 機車支架上之緩衝器及腳踏車座墊彈簧等。
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